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恒流泵具有提供超清潔、無碳氫化合物的真空環境的能力，故常被用戶選用。然而，用戶也偶爾會發現恒流泵提供不了不含碳氫化合物的真空環境。經調查發現碳氫化合物的來源，50%是操作失誤所帶來的問題，如恒流泵的前級泵為油封式旋片泵時，沒有控制返流的安全閥，不合理的放氣程序都會引起油蒸汽的返流，不合要求的安全閥也會引起油污染。 為了在系統中實現無碳氫化合物這一要求，在前級泵不是干式泵的情況下，有必要了解恒流泵的壓縮比及如何給泵充氣的一些基本知識。